SC3080设备可同时配备多种药液，主要用于12英寸后段和前段清洗工艺。该机台主要由传输模块、工艺模块、药液供给模块、电源柜等组成，标配8个腔室2套药液系统，能够进行全自动dry in dry out清洗工艺。
设备特点
•精密的腔室微环境控制能力
•支持多种化学品
•高效的化学品回收效率
•4 腔或8腔可选
•优秀的干燥效果
产品应用
•晶圆尺寸：12英寸
•适用材料：单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜
•适用工艺：后段Cu/AI制程刻蚀后、AlPad、背面清洗、背面刻蚀，后段控挡片回收
•适用领域：集成电路、先进封装、功率半导体、硅基微显示