气路盘是七星流量计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计、加工和测试，以隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器、MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节、纯度过滤、流量控制等功能。
设备特点
•具有IC级复杂气路盘的设计能力
•可以按照客户的需求进行气路盘的设计更改和定制化服务
•具有多年研发和生产MFC的经验，可嫁接到气路盘的设计和生产中
•具有高性价比优势
产品应用
•真空能力：0.2Pa~1×10⁻⁶Pa
•漏率（VCR密封）：小于1×10⁻⁹Pa˙m³/s
•管路内表面光洁度：小于0.2Ra
•管路内表面处理：EP处理
•IGS尺寸：1.125英寸
•接口类型：全金属密封
•密封形式：IGS-C型或VCR，卡套
•颗粒度：连续3次测试中，0.1um以下的颗粒数≤3个