DS300压力式气体质量流量控制器是针对半导体行业开发的一款适用于半导体装备的气体质量流量控制器。DS300采用基于压力原理的流量传感器技术和高精度压电阀控制技术使产品具有零漂小，精度高，响应速度快，压力不敏感的特点，产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面状况符合SEMI标准的要求。
设备特点
•基于PTS(Pressure，Temperature，Space)的压力传感技术
•基于AI的压力控制技术
•全金属耐腐蚀技术
•高准确度及高可靠性
产品应用
•流量规格(N₂)：(0～30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM
•准确度：±1% S.P. (≥10% F.S.) ，±1% F.S. (＜10% F.S.)
•重复精度：±0.2% F.S.
•响应时间：≤ 0.5sec
•工作压力：0.45MPa