钛升华泵 (TSP) 泵芯是用于抽除 UHV/XHV 系统中所有可吸收气体的一种有效手段。TSP 可添加到离子泵内部，也可作为独立的泵单元。与液冷低温挡板结合使用可降低温度，进一步提高中间气体的抽速。
钛丝型 TSP 泵在 UHV 系统中最常用，因为它可在两次升华间关闭，因此不会增加高温引起的气体逸出。球形钛泵含大量钛，在需要使用较多钛的条件下（例如较高的运行压力），它的使用寿命更长。
特性
• 在 2.75 英寸 ConFlat 法兰上提供
• 可烘烤至 400 °C
• 运行压力范围为 10–4 至 10–12 mbar
• 钛丝架上装有三根钛丝，每根丝含 1.1 g 可用钛
• 可更换钛丝包中有 12 条钛丝，足以进行 4 次替换
• Mini Ti-Ball 钛球可提供 15.2 g 可用钛，能够延长使用寿命
• 在 300 瓦的功率下可实现大程度的 Ti-Ball 钛球升华，但待机功率要求为 100 瓦，以免钛球在不使用时破裂