
TSP 常温屏蔽罩和低温挡板设计用于与 TSP 泵芯结合使用。两种产品都为钛溅射提供了较大的表面积。如果在超高真空/极高真空下使用,低温挡板(低温罩)可在水冷/液氮冷却下使用。如果不能或不希望进行冷却,常温屏蔽罩可以提供比未冷却低温板更高的抽速。
使用常温屏蔽罩或低温挡板与 TSP 泵芯,提高活性气体的抽速,更快达到超高真空/极高真空状态。常温屏蔽罩可以为活性气体提供高抽速。在非常低的压力下,最大的残留气体负荷为氢气,当升华钛处于低温罩提供的较低温度时,氢气的抽除效率较高。
特性
• 低温挡板或常温屏蔽罩可为 TSP 的升华钛提供更大的表面积,避免真空系统发生不需要的钛膜沉积
• 用液氮冷却时低温挡板可达到最高性能
• TSP 低温挡板可在水冷却或液氮冷却下运行
• 常温屏蔽罩不需要冷却
• 可与具有双法兰或带侧孔的离子泵集成
• 安装在外径 8 英寸的 ConFlat 法兰上,还包括一个用于安装 TSP 泵芯的 2.75 英寸 ConFlat 法兰
• 可独立安装在深度/间隙为 11 英寸的任意 8 英寸 (NW 150) CFF 接口上
• 不包括 TSP 泵芯
