PVD-BATCH DRUM SERIES物理气相沉积系统

PVD-BATCH DRUM SERIES物理气相沉积系统由两种标准尺寸（PVD 200 和 PVD 500）组成，可配置为水平或垂直配置。当颗粒物是一个主要问题时，水平配置优先。水平和垂直配置均可用于 3D 涂层的双轴旋转。通过每次运行的沉积面积来衡量的吞吐量范围从几百平方英寸到超过 2000 平方英寸，并且还提供更大的定制系统。