GEN2000 MBE分子束外延系统提供的吞吐量、更长的活动周期、更小的占地面积和集群工具晶圆处理。它是 HBT 和 pHEMT 等无线通信设备大批量生产以及需要以低拥有成本生产 6 英寸的新兴应用的理想选择。
GEN2000 MBE分子束外延系统特点：
• 提供业界低的单片晶圆成本
• 设计使占地面积比同类 MBE 系统小 40% 至 60%
• 模块化架构允许多两个生长模块，从而提高产量或允许处理不相容的材料
• 易于维护，可大限度地延长正常运行时间
• 可选的隔板安装优化了洁净室空间
• 集成了业界具创新性、可靠的系统硬件、源和组件