EVO 25/50 MBE分子束外延系统是用于超高真空条件下探勘材料研究的沉积工具，适用于直径不超过2英寸的基底。它们是灵活的系统平台，适用于多种MBE应用，如二维材料生长、金属间化合物、氧化物异质结构或半导体。EVO-25/50 MBE配备了先进的蒸发控制软件，并提供多个原位特性分析端口。
EVO 25/50 MBE分子束外延系统特点：
• MBE系统优化用于2英寸晶圆生长
• 紧凑设计与小型系统占地
• 灵活构型，从拓扑绝缘体到半导体和金属氧化物
• 原位生长监测
• 可靠且快速的样本传输
• 由先进软件控制的生长过程
• 作为材料创新平台（MIP）的一个模块设计