Nitride MBE Systems分子束外延系统

Nitride MBE Systems分子束外延系统专门设计用于生长高质量的氮化物、铝铵及相关氮化物材料。生长模块设计用于处理高强度活性氮含量，并配备高温基底加热器以实现均匀生长。活性氮由射频等离子体或氨源产生。                                                                                                

Nitride MBE Systems分子束外延系统由两个模块组成：外延生长模块和载荷锁定/缓冲/准备模块。氮化物MBE系统标配线性或直角配置;真空国际中也提供“集群工具”配置。虽然SVTA拥有标准设计库，但我们始终乐于讨论您的独特需求。可转入腔室进行表面分析或其他分析技术。