PM6 CMP精密研磨&抛光系统

PM6 精密研磨&抛光系统是带有一个工作站的台式机,适用于科学研究和小规模生产的研磨和抛光设备,能够完成 4 英寸及以下尺寸样品的处理。加工出来的样品具有高一致性、高规格水平、高面光洁度等特点。超高精度的磨盘协同直观的控制系统,为产出超高精度、高一致性的样品提供了保障。
无论是对何种材料表面平整度控制的需求,在半导体、光电、光学以及地质应用领域,PM6 系列机型都是值得信赖的选择。典型的应用包括:晶片背减、地质薄片制备、光学器件制备、激光棒抛光、MEMS 等。
PM6 系统通过创新的设计和直观的操作控制,突出了工艺过程性能,例如研磨和抛光选项与带有蓝牙功能磨头和平整度测试规相结合。研磨/抛光的所有功能和操作均通过触摸式电脑操作界面进行,一个完整的菜单设置和工艺选项清晰显示屏幕上,使得工艺存储及调用操作更为便捷。
PM6 系统提供实时数据反馈与绘制功能,可存储和导出目标材料的去除率和修盘的去除率。配有USB 接口,方便数据导出、导入与分析。研磨/抛光盘的速度(5-100rpm)也可以通过操作界面设置和控制。用户可以从操作界面对夹具摆臂进行控制。

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