气浮平台系列

• XY 气浮运动平台，采用无铁芯直线机
• 磁预载，低匀速波动，高稳定性和运动精度

性能参数	单位
行程	mm	300×300
双向重复定位精度	um	±0.15
水平直线度	um	±0.7
垂直直线度	um	±0.7
俯仰角	urad	10
偏转角	urad	10
平面度	um	5
XY正交性	urad	5
最大速度	m/s	0.5
最大加速度	m/s2	10
最大负载	kg	30
位置稳定性	Nm	±20