FRG-705/FRG-707 全量程皮拉尼反磁控真空计

FRG-705 和 FRG-707 真空计将皮拉尼传感器与反磁控传感器集成于紧凑的一体化结构中,可实现从大气压到 7.6 x 10-10  Torr (1.0 x 10-9 mbar) 的宽量程测量。

创新的超低杂散磁场设计,使这些真空计适用于各种应用。双电离室设计可减少污染,延长使用寿命。FRG-705 和 FRG-707 真空计支持模拟输出信号和 RS485 串行通信。

特性
• 可测量工艺压力和极限真空压力,量程覆盖 7.6 x 10-10 Torr 至大气压(1.0 x 10-9 mbar 至 1000 mbar)
• 超低杂散磁场
• 双电离室可延长使用寿命
• 优异的启动性能
• 便于清洁和修复
• 超紧凑设计,体积小巧
• 灯丝不易损坏
• RS485 数字接口(选配)
• 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

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