NVT-HG单晶生长炉

NVT-HG系列单晶生长炉主于光伏产业8-12英寸单晶硅制备工艺,该机台具有大投料量,高拉速,低能耗,自动化、智能化的优点。能够进行全自动并进行工艺处理。系统主要由籽晶升降/旋转系统,坩埚升降/旋转系统,热屏升降系统,旋阀、真空腔室、辅助功能单元及电控系统组成。
设备特点
•单台4 吨以上的月产能,实现单晶硅棒量产
•合理的炉体布局,使得炉子能耗同比下降10%
•大尺寸的主室为大投料量留下了空间
•具备连续加料器装置
产品应用
•热场尺寸:26″
•籽晶拉速:>1.6mm/min
•品体直径:6″~12″
•坩埚升速:0.02-1.0mm/min
•主室尺寸:1100x1400mm
•适用领域:新能源光伏
•副室尺寸:Ф350 x3800mm
•加热功率( 主加与副加):165KW+65KW

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