PRO Line PVD 75 物理沉积系统

PRO Line PVD 75是基于主力PVD 75平台的下一代薄膜沉积系统。PVD 75在全球服役超过400台,是一款经过验证、坚固且多功能的设计。PRO Line PVD 75在原设计的基础上改进了基础压力和泵送速度。技术先进的腔体设计、业内领先的软件控制系统(具备先进编程能力)、自动基底加载以及多种优化薄膜性能的功能,是这一创新且一流的设计所带来的一些关键优势。

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