SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术(Super-Tunnel)、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了1.1nm@1kV的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。
产品特点
1、分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像
2、电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品
3、高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证
4、电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力
5、水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
6、磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换