Sirius MC313 离子注入机

Sirius MC313 离子注入机主要用于12英寸Si IC领域的掺杂工艺。该机台为单腔室单片式离子注入机，主要由高压仓模块，光路模块，靶室模块和附属设备等组成。
设备特点
• 优越的均匀性控制能力
• 精准的角度及平行度控制
• 高效的束流自动调节功能
产品应用
• 晶圆尺寸：12英寸
• 适用材料：硅
• 适用工艺：阱注入，源漏注入，晕环注入，接触电阻改善，预非晶化
• 适用领域：集成电路