
Oven设备是目前TFT产线耗电量较大的设备,Oven设备热排管道排出的是230℃的高温有机废气(光刻胶升华物),大量的热能被浪费掉。在排气管路上安装热能回收的TRU设备可达到节能效果,同时也可实现客户端运营成本的下降。
设备特点
•结构设计合理,技术成熟,具有良好的动态品质
•压差变化小,系统稳定
•风量处理能力可根据客户要求设定调节
•降低客户oven 设备加热所需的耗电量,最大节电效率在65%以上
产品应用
•压差变化值:0~20Pa
•排热量压力损耗:不影响烘炉内部的气体平衡
•节电量:≥45±5KWH( 2 Sets)
•适用领域:平板显示、发电等领域的废热气回收及再利用
