高精度 XYZ 平台系列

• XYZ 运动平台，采用无铁芯直线电机，交叉滚柱导轨
• Z 轴配备气平衡装置，可根据负载实时调整
• 低匀速波动，高稳定性和运动精度
• 重复定位精度±0.1μm

性能参数	单位
尺寸	mm	280×280×350
行程	mm	160×160×60
连续推力	N	33
峰值推力	N	120
连续电流	Arms	1.1
峰值电流	Arms	4
力矩常数	N/Arms	30
加速度	g	0.5
最大负载	kg	10
静态抖动	nm	±30
重复定位精度	um	±0.1