PRO Line PVD 200是一款模块化、功能齐全的薄膜沉积系统，支持8英寸晶圆转印、最多8个溅射阴极和eKLipse高级控制软件。全球服役超过500台，PVD系列是一款经过验证、坚固且多功能的设计，包含PVD 75和200平台。PRO Line PVD 200在原设计的基础上改进了基础压力和泵送速度。技术先进的腔体设计、业内领先的软件控制系统（具备先进编程能力）、自动基底加载以及多种优化薄膜性能的功能，是这一创新且一流的设计所带来的一些关键优势。
PRO Line PVD 200物理气相沉积系统