主要用于集成电路、科研、化合物半导体等领域12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英管/舟、碳化硅管的清洗。此外，也可以用于清洗其它石英材质的零部件，如石英板、点火炮、保温桶等。
设备特点
• 全自动清洗，浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选
• 一机多用，可兼容石英管/ 舟/ 工件清洗
• 自主研发控制系统，友好的人机交互界面
• 自动配液系统，换酸便捷
• 分级安全互锁设置，确保设备安全可靠
产品应用
• 晶圆尺寸：8、12英寸
• 适用材料：石英、碳化硅
• 适用工艺：石英管/ 舟、石英板、点火炮、基座等零部件浸泡式清洗
• 适用领域：集成电路、科研、化合物半导体