IMX-3500离子注入设备

IMX-3500离子注入设备最大能量为200kV，可处理Φ200mm的晶圆，非常适合大学等机构的研发工作。

特长
除B、P、As等气体离子源外，还有操作安全，便于处理的固体蒸发源。
HV终端部分采用与量产设备相同的结构，确保了高可靠性。
最大晶圆尺寸为Φ200mm，且载盘可兼容不规则基板。